扫描电镜及能谱分析

仪器名称

环境扫描电子显微镜 EVO MA15

Oxford SDD Inca X-Max20能谱仪

生产厂家

德国卡尔蔡司公司

牛津仪器分析有限公司

主要技术指标

（1）光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。

（2）聚焦：具有手动及自动聚焦功能。

（3）光阑：三级可调物镜光阑。

（4）加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。

（5）图像电平移：±50µm。

（6）放大倍数：5×~1000,000×，连续可调。

（7）分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像＜4.0nm（30kV）。

（7）探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调。

（8）聚焦工作距离：2mm~145mm。

（9）电子束气体路径长度：＜2mm。

（10）真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。最高真空度优于0.1mPa；低真空压力范围：10Pa~400Pa。在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。

（11）样品室内部尺寸：φ365mm×275mm。可放置的最大样品尺寸为直径250mm，高度145mm；

（12）探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。

（13）扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。

（1）分析元素下限：Be4

（2）SuperATW窗口，20mm2大面积活区；

（3）在Mn Kα处的分辨率：优于127eV；

（4）计数率>20000CPS；

（5）输出最大计数率300000CPS；可处理最大计数率700000CPS,在所有处理时间常数上全自动校正；

（6）SUPERSCAN – 先进的超级数字扫描系统

（7）全谱面分布图最大清晰度1024*1024；

（8）配以INCA能谱软件系统，具有元素侦察、多元素的线扫描与面扫描、谱图重构、多谱比较离线分析等功能；具有信息管理系统(IMS)；实验报告自动生成与打印功能。

应用范围

EVO MA 15是一台高性能、功能强大的高分辨研究级扫描电子显微镜。提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。可广泛应用于石油地质、地矿、化工材料、机械等研究领域。