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氩离子抛光

来源:地球科学学院改版 发布:2021-06-11 19:51:31  点击量:

氩离子精密抛光装置是利用氩气,通过专利潘宁规式离子枪产生氩离子源,对岩石或微孔隙样品的表面进行原子级别的层层剥离,最终达到对样品表面进行精细抛光。经过氩离子抛光后的岩石或微孔隙样品具有光滑的截面,而不会出现机械研磨造成的样品机械损伤,从而可以用来观察岩石或微孔隙样品的储层结构、定量统计储层孔隙,确定孔隙度等。

   

  

技术参数

仪器名称

宽束SEM截面样品离子束抛光仪

生产厂家

美国GATAN697

主要技术指标

1、离子枪:两只潘宁式离子枪,装载环形永磁铁,聚焦离子束设计。离子枪无消耗品

2、离子枪角度:可调,+10°到-10°,每只离子枪可独立调节

3、抛光速率:硅,每小时>140μm6kV

4、抛光区域:0.5-1.5mm,通过氯离子束可调节

5、样品台:Ti遮挡板,可以重复抛光原感兴趣区域

6、离子束调制:双束调制系统

应用范围

观察岩石或微孔隙样品的储层结构、定量统计储层孔隙,确定孔隙度等。